Definition & Betydelse | Tyska ordet NITRID

Alternative Materialien sind Siliziumnitrid, Polymere (bei neueren auf organischen Halbleitern basierenden Schaltkreisen) oder Kombinationen aus verschiedenen Materialien (beispielsweise Nitrid und Oxid, wie beim Metall-Nitrid-Oxid-Halbleiter-FET, MNOSFET).
Am bekanntesten ist das reaktionsgebundene Siliciumnitrid (RBSN), bei dem das metallische Silicium mit einer Stickstoffatmosphäre das entsprechende Nitrid bildet (dabei können reiner Stickstoff oder Ammoniumverbindungen verwendet werden).
Besser ist es, wenn aus Yttrium zunächst mittels Wasserstoff Yttriumhydrid gebildet wird, das in aufgelockerter Form entsteht und dann leichter bei 800 °C ins Nitrid überführt werden kann.
Neben den Emissionsprozessen beim niederenergetischen Ionenbeschuss von Festkörperoberflächen waren resonant angeregte Hochfrequenz-Niederdruckplasmen und die Entwicklung großflächiger Ionen- und Plasmastrahlquellen, die Deposition von Hartstoffschichten auf Nitrid (TiN, cBN)- und Kohlenstoffbasis sowie chemische Festkörperreaktionen und Diffusionsprozesse an Oberflächen und in Dünnen Schichten weitere Forschungsbereiche.

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Definition av NITRID